GB/T 33523.602-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第602部分：非接触（共聚焦色差探针）式仪器的标称特性
标准编号：GB/T 33523.602-2022
规范名称：产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第602部分：非接触（共聚焦色差探针）式仪器的标称特性
该国家标准规定了使用基于白光轴向色散特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性。
全国产品几何技术规范标准化技术委员会
起草单位：哈尔滨工业大学、上海市计量测试技术研究院、清华大学、中机研标准技术研究院（北京）有限公司、广东锦亚科技有限公司、浙江昂华新材料有限公司、华中科技大学、山东省计量科学研究院、中机生产力促进中心有限公司、广东皓辰旺科技有限公司、陕西润正检测科技有限公司、西安凯益金电子科技有限公司
起草人：刘俭、卢文龙、刘辰光、曹丛、曹世磊、郑德灿、王光建、向梅、瞿潮庆、明翠新、尉昊赟、朱悦、张德军、向伟明
GB/T 33523.602-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第602部分：非接触（共聚焦色差探针）式仪器的标称特性(图)
